Publikationen pro Jahr
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2023
Efficient Xe Filling of MEMS Vapor Cells Empowered by Customized Triple Stack Wafer Bond Processing
Roshanghias, A., Kaczynski, J., Rodrigues, A., Hübner, M., Zauner, M., Grosso, G., Andrianov, N., Khan, M., Grömer, T., Fuchs, T. & Binder, A., 29 Sep. 2023, in: ECS Transactions.Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung
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Highly Selective Plasma Etching Technique for Molybdenum: Highly Selective Plasma Etching Technique for Molybdenum
Osipov, A., Andrianov, N., Speshilova, A., Gagaeva, A., Risquez, S., Vorobyev, A. & Alexandrov, S., 18 Feb. 2023, in: Plasma Chemistry and Plasma Processing. S. 1-11 11 S.Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung
Open Access -
2021
Engineering mode coupling in a hybrid plasmon-photonic cavity for dual-band infrared spectroscopic gas sensing
Dao, T. D., Dubois, F., Spettel, J., Tortschanoff, A., Fleury, C., Cselyuszka, N., Consani, C., Nikolai, A. & Moridi, M., 15 Juni 2021, in: OSA Continuum. 4, 6, S. 1827Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung
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2018
Enhanced silicon nitride etching in the presence of F atoms: Quantum chemistry simulation
Barsukov, Y. V., Volynets, V., Kobelev, A. A., Andrianov, N. A., Tulub, A. V. & Smirnov, A. S., Nov. 2018, in: Journal of Vacuum Science & Technology A. 36, 6, S. 061301-1-061301-6 6 S.Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung
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Влияние энергии ионов при воздействии азотной плазмы на постоянные токи насыщения HEMT-транзисторов на основе нитридов III группы
Nikolai, A., 2018, in: Uspekhi Prikladnoi Fiziki. 5, S. 82-85 4 S.Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung
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Численное моделирование режимов обработки поверхности GaN в BCl3-плазме высокочастотного индукционного разряда
Nikolai, A., 17 Aug. 2018, in: Uspekhi Prikladnoi Fiziki. 6, 5, S. 381-388 7 S.Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung
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2017
Influence of surface processing in a BCl3 plasma on the formation of ohmic contacts to AlGaN/GaN structures
Andrianov, N. A., Kobelev, A. A., Smirnov, A. S., Barsukov, Y. V. & Zhukov, Y. M., 1 März 2017, in: Technical Physics. 62, 3, S. 436-440 5 S.Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung
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Исследование воздействия плазмы SF6 на поверхность НЕМТ-структур на основе GaN
Nikolai, A., 17 Mai 2017, in: Uspekhi Prikladnoi Fiziki. 5, 4, S. 335-339 5 S.Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung
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Многосеточные энергоанализаторы задерживающего потенциала для измерения функции распределения ионов по энергиям из плазмы высокочастотного емкостного разряда
Nikolai, A., 2017, in: Uspekhi Prikladnoi Fiziki. 5, 6, S. 608-617 9 S.Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung
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