Projekte pro Jahr
Fingerprint
Kooperationen und Spitzenforschungsbereiche der letzten fünf Jahre
Profile
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Dr. Marco Deluca
- Thin Film Technologies (TFT) - Leiter der Forschungsgruppe, WISSENSCHAFTLICHER MITARBEITER
Person
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Projekte
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Applied CPS: EDIH Applied Cyber Physical Systems for manufacturing, construction and automotive sectors
1/11/22 → 31/10/25
Projekt: Forschung
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Actuation And Sensing For PZT Micromirrors Using d33 Mode Directional Interdigitated Electrodes
Thakkar, P., Lagosh, A., Petschnigg, M., Holzmann, D. & Pribosek, J., 1 Nov. 2023, (Angenommen/Im Druck) IEEE SENSORS 2023.Publikation: Konferenzband/Beitrag in Buch/Bericht › Konferenzartikel › Begutachtung
Open AccessDatei -
Advantages and developments of Raman spectroscopy for electroceramics
Deluca, M., Hu, H., Popov, M. N., Spitaler, J. & Dieing, T., 9 Okt. 2023, in: Communications Materials.Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung
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Assessment of AF4 Parylene Cohesion/Adhesion on Si and SiO2 Substrates by Means of Pull-Off Energy
Sinani, T., Solonenko, D. & Miskovic, G., 19 Jän. 2023, in: Coatings.Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung
Open AccessDatei
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The Effect of CH4/H2 Gas Admixture on the Selectivity towards Pt in Dry Etching of PZT Thin-Films by ICP-RIE
Madeleine Petschnigg (Redner), Nikolai Andrianov (Redner), Syed Munir Azeem (Redner) & Susan Trolier-McKinstry (Redner)
20 März 2024Aktivität: Präsentation oder Vortrag › Poster Präsentation
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The Effect of CH4/H2 Gas Admixture on the Selectivity towards Pt in Dry Etching of PZT Thin-Films by ICP-RIE
Madeleine Petschnigg (Redner), Nikolai Andrianov (Redner), Syed Munir Azeem (Redner) & Susan Trolier-McKinstry (Redner)
9 Nov. 2023Aktivität: Präsentation oder Vortrag › Poster Präsentation
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Impact of CH4/H2 Gas Admixture on Pb(Zr1-xTix)O3 ICP-RIE Etching Performance
Madeleine Petschnigg (Redner), Sarah Risquez (Redner), Syed Munir Azeem (Redner), Annalisa De Pastina (Redner), Anton Lagosh (Redner) & Nikolai Andrianov (Redner)
19 Juni 2023 → 20 Juni 2023Aktivität: Präsentation oder Vortrag › Poster Präsentation