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The Effect of CH4/H2 Gas Admixture on the Selectivity towards Pt in Dry Etching of PZT Thin-Films by ICP-RIE
Madeleine Petschnigg (Redner), Nikolai Andrianov (Redner), Syed Munir Azeem (Redner) & Susan Trolier-McKinstry (Redner)
20 März 2024Aktivität: Präsentation oder Vortrag › Poster Präsentation
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The Effect of CH4/H2 Gas Admixture on the Selectivity towards Pt in Dry Etching of PZT Thin-Films by ICP-RIE
Madeleine Petschnigg (Redner), Nikolai Andrianov (Redner), Syed Munir Azeem (Redner) & Susan Trolier-McKinstry (Redner)
9 Nov. 2023Aktivität: Präsentation oder Vortrag › Poster Präsentation
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Impact of CH4/H2 Gas Admixture on Pb(Zr1-xTix)O3 ICP-RIE Etching Performance
Madeleine Petschnigg (Redner), Sarah Risquez (Redner), Syed Munir Azeem (Redner), Annalisa De Pastina (Redner), Anton Lagosh (Redner) & Nikolai Andrianov (Redner)
19 Juni 2023 → 20 Juni 2023Aktivität: Präsentation oder Vortrag › Poster Präsentation
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Impact of Precursor Chemistry on the Selectivity in Pb(Zr1-xTix)O3 ICP-RIE Etching
Madeleine Petschnigg (Redner), Sarah Risquez (Redner), Syed Munir Azeem (Redner), Annalisa De Pastina (Redner), Anton Lagosh (Redner) & Nikolai Andrianov (Redner)
13 Juni 2023Aktivität: Präsentation oder Vortrag › Vortrag
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Vertical etching of Al0.7Sc0.3N for next generation of acoustic wave resonators
Tamara Terzic (Redner), Nikolai Andrianov (Redner), Mustapha Chouiki (Redner), Dmytro Solonenko (Redner), Annalisa De Pastina (Redner), Vladimir Pashchenko (Redner) & Sarah Risquez (Redner)
30 Mai 2023Aktivität: Präsentation oder Vortrag › Vortrag
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RF-Sputter Deposition of Lead-based Perovskite Thin-Film Materials for MEMS Applications
Madeleine Petschnigg (Redner)
11 Juli 2022Aktivität: Präsentation oder Vortrag › Vortrag