Impact of CH4/H2 Gas Admixture on Pb(Zr1-xTix)O3 ICP-RIE Etching Performance
- Petschnigg, M. (Redner)
- Sarah Risquez (Redner)
- Azeem, S. M. (Redner)
- De Pastina, A. (Redner)
- Lagosh, A. (Redner)
- Andrianov, N. (Redner)
Aktivität: Präsentation oder Vortrag › Poster Präsentation