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A Comprehensive Characterization Procedure for Resonant MEMS Scanning Mirrors
Fleury, C., Bainschab, M., Carminati, R., Mendicino, G., Thakkar, P., Holzmann, D., Rodrigues Palma Guerreiro, S. & Piot, A., 2023.Publikation: Konferenzbeitrag › Papier
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Acoustofluidic Trapping in Structured Microchannels Using Lateral Transducer Modes
Fuchsluger, A., De Pastina, A., Mitteramskogler, T., Ecker, R., Voglhuber-Brunnmaier, T., Andrianov, N., Shatalov, A., Cselyuszka, N., Moridi, M. & Jakoby, B., Nov. 2023.Publikation: Konferenzbeitrag › Papier › Begutachtung
Open Access -
Broadband MEMS Shutter Based Variable Optical Attenuator
Lagosh, A., Guldimann, B., Huszka, G., Sattari, H., Ahlers, B., Giaccari, P., Kerr, G., Rahnama, P., Nishizawa, T. & Quack, N., Nov. 2021.Publikation: Konferenzbeitrag › Papier › Begutachtung
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C4.4 - Characterization of a Piezo-Resistive MEMS Microphone for Aero-Acoustic Measurements
Erbacher, K., Bourquard, C., Lokesh, O., Wu, L., Mackowiak, P., Schneider-Ramelow, M. & Ngo, H., 2023, S. 171-172.Publikation: Konferenzbeitrag › Papier › Begutachtung
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Chemically enhanced dry etching of Al0.7Sc0.3N for MEMS applications
Andrianov, N., De Pastina, A., Risquez, S. & Moridi, M., 21 Sep. 2022.Publikation: Konferenzbeitrag › Papier › Begutachtung
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Optical and Environmental Characterization Bench for 2D Micromirrors
Rodrigues Palma Guerreiro, S., Bainschab, M., Piot, A., Rocha, R. T., Toshiyoshi, H., Bosseboeuf, A., Sasaki, T., Lagosh, A. & Moridi, M., 28 Mai 2023, S. 1-6.Publikation: Konferenzbeitrag › Papier › Begutachtung
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Smart slit assembly employing continuously tunable MEMS shutter
Lagosh, A., Huszka, G., Sattari, H., Ahlers, B., Guldimann, B., Kerr, G., Melozzi, M., Rahnama, P., Nishizawa, T. & Quack, N., 5 März 2021, S. 116970P.Publikation: Konferenzbeitrag › Papier › Begutachtung
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Unfolding the Future with Smart Road Lighting and Sensing
Piot, A., Travnik, A., Bainschab, M., Fleury, C., Sasaki, T., Rodrigues Palma Guerreiro, S., Baumgart, M., Holzmann, D., Rocha, R. T., Lagosh, A. & Moridi, M., 2023, S. 1-2.Publikation: Konferenzbeitrag › Papier › Begutachtung