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Piezoelectric Microsystem Technologies (PMT)
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Patent
Suchergebnisse
2022
Micromirror device and method operating same
Sasaki, T.
,
Piot, A.
,
Pribosek, J.
&
Moridi, M.
,
29 Dez. 2022
, (Eingereicht) Patent Nr. 11626521
Publikation
:
Schutzrecht
›
Patent