Optical and Environmental Characterization Bench for 2D Micromirrors

Sara Rodrigues Palma Guerreiro, Markus Bainschab, Adrien Piot, Rodrigo Tumolin Rocha, Hiroshi Toshiyoshi, Alain Bosseboeuf, Takashi Sasaki, Anton Lagosh, Mohssen Moridi

Publikation: KonferenzbeitragPapierBegutachtung

OriginalspracheEnglisch
Seiten1-6
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 28 Mai 2023
Veranstaltung2023 Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP) - Valetta, Malta
Dauer: 28 Mai 202331 Mai 2023

Konferenz

Konferenz2023 Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP)
Zeitraum28/05/2331/05/23

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