Piezoelectric Microsystem Technologies (PMT)

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2023
Varifocal MEMS mirrors for high-speed axial focus scanning: a review
Pribosek, J., Bainschab, M. & Sasaki, T., 27 Okt. 2023, in: Microsystems and Nanoengineering. 9, 135
Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Übersichtsartikel › Begutachtung

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