Efficient Xe Filling of MEMS Vapor Cells Empowered by Customized Triple Stack Wafer Bond Processing

Ali Roshanghias, Jaroslaw Kaczynski, Augusto Rodrigues, Martina Hübner, Markus Zauner, Giovanna Grosso, Nikolai Andrianov, Muhammad Khan, Thomas Grömer, Tino Fuchs, Alfred Binder

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelBegutachtung

Fingerprint

Untersuchen Sie die Forschungsthemen von „Efficient Xe Filling of MEMS Vapor Cells Empowered by Customized Triple Stack Wafer Bond Processing“. Zusammen bilden sie einen einzigartigen Fingerprint.

Physik & Astronomy