ASSIC - Project 1.3 RF-MEMS

Hirschl, Christina (Leitende(r) Forscher/-in)

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2022
Highly textured AlN and Al0.7Sc0.3N piezoelectric thin films with Hf(0002) seed layer
Risquez, S., Pilz, J., Röbisch, V., Nellinilkkum Thadathil Jolly, G., Howell, K., Mazzalai, A., Heinz, B., Moridi, M. & Solonenko, D., 16 Aug. 2022.
Publikation: Konferenzbeitrag › Abstract › Begutachtung