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ASSIC - Project 1.3 RF-MEMS
Hirschl, Christina
(Leitende(r) Forscher/-in)
Executive Management
Sensor Systems
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Publikationen
(4)
Publikationen
Publikationen pro Jahr
2022
2022
2022
2
Poster
1
Abstract
1
Artikel
Publikationen pro Jahr
Publikationen pro Jahr
2 Ergebnisse
Erscheinungsjahr, Titel
(absteigend)
Erscheinungsjahr, Titel
(aufsteigend)
Titel
Typ
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Poster
Suchergebnisse
2022
Low-density SiOC thin films grown by low temperature plasma-enhanced chemical vapor deposition for high performance acoustic Bragg mirrors
Pilz, J.
,
Andrianov, N.
,
Sinani, T.
,
Azeem, S. M.
,
Dao, T. D.
,
Moridi, M.
&
Bruckner, G.
,
10 Nov. 2022
.
Publikation
:
Konferenzbeitrag
›
Poster
Strong correlation of the piezoelectric response and microstructure in AlYN solid solutions
Solonenko, D.
,
Strube, J.
,
Fammels, J.
,
Röbisch, V.
,
Howell, K.
,
Zhao, X.
,
Pilz, J.
,
Risquez, S.
,
Moridi, M.
&
Bruckner, G.
,
19 Sep. 2022
.
Publikation
:
Konferenzbeitrag
›
Poster
solid solutions
100%
microstructure
71%
sputtering
47%
wurtzite
45%
yttrium
32%