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2022
Highly textured AlN and Al0.7Sc0.3N piezoelectric thin films with Hf(0002) seed layer
Risquez, S., Pilz, J., Röbisch, V., Nellinilkkum Thadathil Jolly, G., Howell, K., Mazzalai, A., Heinz, B., Moridi, M. & Solonenko, D., 16 Aug. 2022.Publikation: Konferenzbeitrag › Abstract › Begutachtung
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Low-density SiOC thin films grown by low temperature plasma-enhanced chemical vapor deposition for high performance acoustic Bragg mirrors
Pilz, J., Andrianov, N., Sinani, T., Azeem, S. M., Dao, T. D., Moridi, M. & Bruckner, G., 10 Nov. 2022.Publikation: Konferenzbeitrag › Poster
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Raman Spectroscopy and Spectral Signatures of AlScN/Al2O3
Solonenko, D., Zukauskaite, A., Pilz, J., Moridi, M. & Risquez, S., 11 Nov. 2022, in: Micromachines. 13, 11, 11 S.Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung
Open Access -
Strong correlation of the piezoelectric response and microstructure in AlYN solid solutions
Solonenko, D., Strube, J., Fammels, J., Röbisch, V., Howell, K., Zhao, X., Pilz, J., Risquez, S., Moridi, M. & Bruckner, G., 19 Sep. 2022.Publikation: Konferenzbeitrag › Poster