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ASSIC - Project 1.3 RF-MEMS
Hirschl, Christina
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Abstract
Highly textured AlN and Al0.7Sc0.3N piezoelectric thin films with Hf(0002) seed layer
Risquez, S.
,
Pilz, J.
,
Röbisch, V.
,
Nellinilkkum Thadathil Jolly, G.
,
Howell, K.
,
Mazzalai, A.
,
Heinz, B.
,
Moridi, M.
&
Solonenko, D.
,
16 Aug. 2022
.
Publikation
:
Konferenzbeitrag
›
Abstract
›
Begutachtung
hafnium
100%
seeds
74%
thin films
41%
textures
20%
filters
17%