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The Effect of CH4/H2 Gas Admixture on the Selectivity towards Pt in Dry Etching of PZT Thin-Films by ICP-RIE
Madeleine Petschnigg (Redner), Nikolai Andrianov (Redner), Syed Munir Azeem (Redner) & Susan Trolier-McKinstry (Redner)
20 März 2024Aktivität: Präsentation oder Vortrag › Poster Präsentation
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The Effect of CH4/H2 Gas Admixture on the Selectivity towards Pt in Dry Etching of PZT Thin-Films by ICP-RIE
Madeleine Petschnigg (Redner), Nikolai Andrianov (Redner), Syed Munir Azeem (Redner) & Susan Trolier-McKinstry (Redner)
9 Nov. 2023Aktivität: Präsentation oder Vortrag › Poster Präsentation
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Impact of CH4/H2 Gas Admixture on Pb(Zr1-xTix)O3 ICP-RIE Etching Performance
Madeleine Petschnigg (Redner), Sarah Risquez (Redner), Syed Munir Azeem (Redner), Annalisa De Pastina (Redner), Anton Lagosh (Redner) & Nikolai Andrianov (Redner)
19 Juni 2023 → 20 Juni 2023Aktivität: Präsentation oder Vortrag › Poster Präsentation