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Publikationen pro Jahr
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2023
Efficient Xe Filling of MEMS Vapor Cells Empowered by Customized Triple Stack Wafer Bond Processing
Roshanghias, A.
,
Kaczynski, J.
,
Rodrigues, A.
,
Hübner, M.
,
Zauner, M.
,
Grosso, G.
,
Andrianov, N.
,
Khan, M.
,
Grömer, T.
,
Fuchs, T.
&
Binder, A.
,
29 Sep. 2023
,
in:
ECS Transactions.
Publikation
:
Beitrag in Fachzeitschrift
›
Artikel
›
Begutachtung
gyroscopes
100%
microelectromechanical systems
87%
vapors
68%
wafers
68%
nuclear magnetic resonance
54%
Highly Selective Plasma Etching Technique for Molybdenum: Highly Selective Plasma Etching Technique for Molybdenum
Osipov, A.
,
Andrianov, N.
,
Speshilova, A.
,
Gagaeva, A.
,
Risquez, S.
,
Vorobyev, A.
&
Alexandrov, S.
,
18 Feb. 2023
,
in:
Plasma Chemistry and Plasma Processing.
S. 1-11
11 S.
Publikation
:
Beitrag in Fachzeitschrift
›
Artikel
›
Begutachtung
Open Access
Plasma etching
100%
Molybdenum
78%
plasma etching
75%
Etching
72%
molybdenum
66%