Jannick Fammels – Publikationen — Silicon Austria Labs

2 Poster
2 Artikel

2 Ergebnisse

Filter

2023

Atomic Layer Deposition of Titanium Nitride in Horizontal Vias Using Hydrazine as Nitrogen Precursor
Fammels, J., Pilz, J. & Solonenko, D., 14 Dez. 2023.
Publikation: Konferenzbeitrag › Poster
2022
Strong correlation of the piezoelectric response and microstructure in AlYN solid solutions
Solonenko, D., Strube, J., Fammels, J., Röbisch, V., Howell, K., Zhao, X., Pilz, J., Risquez, S., Moridi, M. & Bruckner, G., 19 Sep. 2022.
Publikation: Konferenzbeitrag › Poster