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Vertical etching of Al0.7Sc0.3N for next generation of acoustic wave resonators
Tamara Terzic, Nikolai Andrianov, Mustapha Chouiki, Dmytro Solonenko, Annalisa De Pastina, Vladimir Pashchenko, Sarah Risquez
Publikation: Konferenzband/Beitrag in Buch/Bericht › Konferenzartikel › Begutachtung