Position encoding and phase control of resonant MOEMS mirrors

A. Tortschanoff, M. Lenzhofer, A. Frank, M. Wildenhain, T. Sandner, H. Schenk, W. Scherf, A. Kenda

Publikation: Konferenzbeitrag › Papier › Begutachtung

Fingerprint

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Ingenieurwesen & Materialwissenschaft