Material constants extraction for AlScN thin films using a dual mode BAW resonator

Fazel Parsapour, Vladimir Pashchenko, Pascal Nicolay, Paul Muralt

    Publikation: Konferenzband/Beitrag in Buch/Bericht › Konferenzartikel › Begutachtung

    Fingerprint

    Untersuchen Sie die Forschungsthemen von „Material constants extraction for AlScN thin films using a dual mode BAW resonator“. Zusammen bilden sie einen einzigartigen Fingerprint.

    Physik & Astronomy