Hybrid BAW/SAW AlN and AlScN thin film resonator

Vladimir Pashchenko, Ramin Matloub, Fazel Parsapour, Paul Muralt, Sylvain Ballandras, Ken Haffner

    Publikation: Konferenzband/Beitrag in Buch/Bericht › Konferenzartikel › Begutachtung

    Fingerprint

    Untersuchen Sie die Forschungsthemen von „Hybrid BAW/SAW AlN and AlScN thin film resonator“. Zusammen bilden sie einen einzigartigen Fingerprint.

    Physik & Astronomy