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2022
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Papier
Suchergebnisse
Papier
Chemically enhanced dry etching of Al0.7Sc0.3N for MEMS applications
Andrianov, N.
,
De Pastina, A.
,
Risquez, S.
&
Moridi, M.
,
21 Sep. 2022
.
Publikation
:
Konferenzbeitrag
›
Papier
›
Begutachtung
microelectromechanical systems
100%
etching
77%
scandium
32%
temperature
15%
thin films
13%
Unfolding the Future with Smart Road Lighting and Sensing
Piot, A.
,
Travnik, A.
,
Bainschab, M.
,
Fleury, C.
,
Sasaki, T.
,
Rodrigues Palma Guerreiro, S.
,
Baumgart, M.
,
Holzmann, D.
,
Rocha, R. T.
,
Lagosh, A.
&
Moridi, M.
,
2023
,
S. 1-2
.
Publikation
:
Konferenzbeitrag
›
Papier
›
Begutachtung