Charakterisierung und Regelung eines MOEMS Translationsaktuators

Research output: Contribution to conference (No Proceedings)Paperpeer-review

Original languageGerman (Austria)
Pages115 - 120
Publication statusPublished - 2010
EventInformationstagung Mikroelektronik: ME10 - Wien, wien, Austria
Duration: 1 Jan 2010 → …

Conference

ConferenceInformationstagung Mikroelektronik
Country/TerritoryAustria
Citywien
Period1/01/10 → …

Cite this