Charakterisierung und Regelung eines MOEMS Translationsaktuators

Publikation: KonferenzbeitragPapierBegutachtung

OriginalspracheDeutsch (Österreich)
Seiten115 - 120
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2010
VeranstaltungInformationstagung Mikroelektronik: ME10 - Wien, wien, Österreich
Dauer: 1 Jän. 2010 → …

Konferenz

KonferenzInformationstagung Mikroelektronik
Land/GebietÖsterreich
Ortwien
Zeitraum1/01/10 → …

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