ZnO thin films grown by plasma-enhanced atomic layer deposition: material properties in and outside the ALD window

Julian Pilz

Publikation: Konferenzbeitrag › Abstract › Begutachtung

OriginalspracheEnglisch
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2019
Extern publiziertJa
VeranstaltungEuroCVD 22 Baltic ALD 16 Conference - Luxembourg, Luxemburg
Dauer: 24 Juni 2019 → …

Konferenz

KonferenzEuroCVD 22 Baltic ALD 16 Conference
Land/GebietLuxemburg
OrtLuxembourg
Zeitraum24/06/19 → …

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