Originalsprache | Englisch |
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Titel | Proceedings Volume 12434, MOEMS and Miniaturized Systems XXII, 124340X |
DOIs | |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2023 |
Wafer-level vacuum packaged translatory MEMS mirror with large stroke for compact NIR-FT spectrometers
Thilo Sauter, Eric Gaumont, Thomas Graßhoff, Tobias Seifert, Gerald Auböck, J. Grahmann
Publikation: Konferenzband/Beitrag in Buch/Bericht › Konferenzartikel › Begutachtung