Originalsprache | undefiniert/unbekannt |
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Titel | 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11 |
DOIs | |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2011 |
Varifocal scanning micro-mirror fabricated from silicon-on-insulator wafer
T. Sasaki, K. Hane
Publikation: Konferenzband/Beitrag in Buch/Bericht › Konferenzartikel