Originalsprache | undefiniert/unbekannt |
---|---|
Titel | International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics |
DOIs | |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2016 |
Varifocal mirror integrated with scanner using wafer bonding technology
K. Nakazawa, T. Sasaki, H. Furuta, J. Kamiya, H. Sasaki, T. Kamiya, K. Hane
Publikation: Konferenzband/Beitrag in Buch/Bericht › Konferenzartikel