Varifocal micromirror integrated with comb-drive scanner on silicon-on-insulator wafer

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Originalsprache	undefiniert/unbekannt
Fachzeitschrift	Journal of Microelectromechanical Systems
DOIs	https://doi.org/10.1109/JMEMS.2012.2189936
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2012

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TY - JOUR

T1 - Varifocal micromirror integrated with comb-drive scanner on silicon-on-insulator wafer

AU - Sasaki, T.

AU - Hane, K.

PY - 2012

Y1 - 2012

UR - http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-84864612958&partnerID=MN8TOARS

U2 - 10.1109/JMEMS.2012.2189936

DO - 10.1109/JMEMS.2012.2189936

M3 - Artikel

SN - 1057-7157

JO - Journal of Microelectromechanical Systems

JF - Journal of Microelectromechanical Systems

ER -