Translatory MEMS actuator with wafer level vacuum package for miniaturized NIR Fourier transform spectrometers

T. Sandner, E. Gaumont, T. Grasshoff, G. Auböck, A. Kenda, T. Gisler, S. Langa, A. Herrmann, J. Grahmann

Publikation: Konferenzband/Beitrag in Buch/Bericht › Konferenzartikel › Begutachtung

Originalsprache	undefiniert/unbekannt
Titel	Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
DOIs	https://doi.org/10.1117/12.2290588
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2018

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TY - GEN

T1 - Translatory MEMS actuator with wafer level vacuum package for miniaturized NIR Fourier transform spectrometers

AU - Sandner, T.

AU - Gaumont, E.

AU - Grasshoff, T.

AU - Auböck, G.

AU - Kenda, A.

AU - Gisler, T.

AU - Langa, S.

AU - Herrmann, A.

AU - Grahmann, J.

PY - 2018

Y1 - 2018

UR - http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-85049536493&partnerID=MN8TOARS

U2 - 10.1117/12.2290588

DO - 10.1117/12.2290588

M3 - Konferenzartikel

BT - Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ER -