Originalsprache | undefiniert/unbekannt |
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Fachzeitschrift | physica status solidi (b) |
DOIs | |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 15 Mai 2020 |
The Limits of the Post‐Growth Optimization of AlN Thin Films Grown on Si(111) via Magnetron Sputtering
Dmytro Solonenko, Constance Schmidt, Chris Stoeckel, Karla Hiller, Dietrich R. T. Zahn
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