Study of the properties of Al:ZnO thin films grown by plasma-enhanced atomic layer deposition

Publikation: KonferenzbeitragAbstractBegutachtung

OriginalspracheEnglisch
PublikationsstatusVeröffentlicht - Juni 2019
Extern publiziertJa
Veranstaltung24th International Symposium on Plasma Chemistry - Napoli, Italien
Dauer: 9 Juni 2019 → …

Konferenz

Konferenz24th International Symposium on Plasma Chemistry
Land/GebietItalien
OrtNapoli
Zeitraum9/06/19 → …

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