Soft mask-based dry etching of parylene AF4 for advanced packaging applications

Mohamed Lamine Faycal Bellaredj, Nikolai Andrianov, Robin Kaufhold, Goran Miskovic

Publikation: KonferenzbeitragPapierBegutachtung

Fingerprint

Untersuchen Sie die Forschungsthemen von „Soft mask-based dry etching of parylene AF4 for advanced packaging applications“. Zusammen bilden sie einen einzigartigen Fingerprint.

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