Properties of AlScN thin films for hybrid BAW/SAW resonator fabrication

Vladimir Pashchenko, Stefan Mertin, Fazel Parsapour, Sylvain Ballandras, Paul Muralt

    Publikation: Konferenzband/Beitrag in Buch/BerichtKonferenzartikelBegutachtung

    Fingerprint

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    Physik & Astronomy