Originalsprache | Englisch |
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Titel | Procedia Chemistry |
DOIs | |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2009 |
Position encoding and phase control of resonant MOEMS-mirros
A. Tortschanoff, M. Lenzhofer, A. Frank, M. Wildenhain, T. Sandner, H. Schenk, A. Kenda
Publikation: Konferenzband/Beitrag in Buch/Bericht › Konferenzartikel › Begutachtung