Originalsprache | undefiniert/unbekannt |
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Titel | International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics |
DOIs | |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2015 |
Piezoresistive displacement sensor integrated in resonant varifocal mirror
K. Nakazawa, T. Sasaki, H. Furuta, J. Kamiya, T. Kamiya, K. Hane
Publikation: Konferenzband/Beitrag in Buch/Bericht › Konferenzartikel