Originalsprache | undefiniert/unbekannt |
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Titel | 2008 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, OPT MEMS |
DOIs | |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2008 |
Optical scanner with deformable mirror fabricated from SOI wafer
T. Sasaki, K. Hane
Publikation: Konferenzband/Beitrag in Buch/Bericht › Konferenzartikel