Optical position feedback and closed loop control for electrostatically driven MOEMS mirrors

Andreas Tortschanoff, Marcus Baumgart, Dominik Holzmann, Martin Lenzhofer

Publikation: Konferenzbeitrag › Papier › Begutachtung

OriginalspracheEnglisch
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2012
VeranstaltungSPG Jahrestagung - Zürich, Zürich, Schweiz
Dauer: 1 Jän. 2012 → …

Konferenz

KonferenzSPG Jahrestagung
Land/GebietSchweiz
OrtZürich
Zeitraum1/01/12 → …

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