Optical Position Detection Concept and Design Criteria for Micromirrors

Marcus Baumgart, Martin Lenzhofer, Andreas Tortschanoff

Publikation: Konferenzbeitrag › Papier › Begutachtung

OriginalspracheEnglisch
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2014
VeranstaltungnanoFIS 2014 - Functional Integrated nano Systems -
Dauer: 1 Jän. 2014 → …

Konferenz

KonferenznanoFIS 2014 - Functional Integrated nano Systems
Zeitraum1/01/14 → …

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