Originalsprache | undefiniert/unbekannt |
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Titel | TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems |
DOIs | |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2017 |
Nonlinearity compensation of micro-mirror hard-spring by electrostatic combs
T. Izawa, T. Sasaki, K. Hane
Publikation: Konferenzband/Beitrag in Buch/Bericht › Konferenzartikel