Originalsprache | undefiniert/unbekannt |
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Titel | Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, DTIP 2018 |
DOIs | |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2018 |
Nonlinear spring tuning by electrostatic combs in micro mirror scanner
K. Hane, T. Izawa, T. Sasaki
Publikation: Konferenzband/Beitrag in Buch/Bericht › Konferenzartikel