Multileveled tunable silicon grating array bonded on large scale integration substrate by polymers

Tomohiro Suzuki, Chernroj Sawasdivorn, Takashi Sasaki, Hiroshi Matsuura, Kazuhiro Hane

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung

Originalsprache	undefiniert/unbekannt
Fachzeitschrift	Journal of Optical Microsystems
DOIs	https://doi.org/10.1117/1.JOM.1.1.013501
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2021
Extern publiziert	Ja

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TY - JOUR

T1 - Multileveled tunable silicon grating array bonded on large scale integration substrate by polymers

AU - Suzuki, Tomohiro

AU - Sawasdivorn, Chernroj

AU - Sasaki, Takashi

AU - Matsuura, Hiroshi

AU - Hane, Kazuhiro

PY - 2021

Y1 - 2021

U2 - 10.1117/1.JOM.1.1.013501

DO - 10.1117/1.JOM.1.1.013501

M3 - Artikel

JO - Journal of Optical Microsystems

JF - Journal of Optical Microsystems

ER -