MEMS Shutters for Smart Slit Assembly

Anton Lagosh, Gergely Huszka, Niels Quack

Publikation: KonferenzbeitragPosterBegutachtung

OriginalspracheEnglisch
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2021
VeranstaltungEPFL - MicroNanoFabrication Annual Review Meeting 2020 - Lausanne, Schweiz
Dauer: 5 Mai 20205 Mai 2020

Konferenz

KonferenzEPFL - MicroNanoFabrication Annual Review Meeting 2020
Land/GebietSchweiz
OrtLausanne
Zeitraum5/05/205/05/20

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