Low pull-in voltage electrostatic MEMS switch using liquid dielectric

Mohammed Affan Zidan, King Abdullah University of Science Technology, Khaled N Salama

Publikation: Konferenzband/Beitrag in Buch/BerichtKonferenzartikelBegutachtung

OriginalspracheEnglisch
Titel2014 IEEE 57th International Midwest Symposium on Circuits and Systems (MWSCAS)
Seiten169-172
Seitenumfang4
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2014
Extern publiziertJa

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