Originalsprache | undefiniert/unbekannt |
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Fachzeitschrift | Journal of Micromechanics and Microengineering |
DOIs | |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2013 |
Large-scale membrane transfer process: Its application to single-crystal-silicon continuous membrane deformable mirror
T. Wu, T. Sasaki, M. Akiyama, K. Hane
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