Large-amplitude resonant varifocal mirror with an acoustic cavity

T. Sasaki, L. Rayas, K. Nakazawa, K. Hane

    Publikation: Konferenzband/Beitrag in Buch/BerichtKonferenzartikel

    Originalspracheundefiniert/unbekannt
    Titel2015 Transducers - 2015 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS 2015
    DOIs
    PublikationsstatusVeröffentlicht - 2015

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