Originalsprache | undefiniert/unbekannt |
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Titel | Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering |
DOIs | |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2015 |
Integrated packaging of 2D MOEMS mirrors with optical position feedback
M. Baumgart, M. Lenzhofer, M.P. Kremer, A. Tortschanoff
Publikation: Konferenzband/Beitrag in Buch/Bericht › Konferenzartikel › Begutachtung