Originalsprache | undefiniert/unbekannt |
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Titel | International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics |
DOIs | |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2015 |
Fabrication and evaluation of tunable submicron-thick monocrystalline silicon grating for integration on LSI circuit
T. Sasaki, S. Chernroj, H. Matsuura, K. Hane
Publikation: Konferenzband/Beitrag in Buch/Bericht › Konferenzartikel