Originalsprache | undefiniert/unbekannt |
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Fachzeitschrift | IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines |
DOIs | |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2015 |
Fabrication and evaluation of single-crystal-silicon tunable grating using polymer-based membrane transfer bonding process
S. Chernroj, H. Onuma, T. Suzuki, T. Sasaki, H. Matsuura, K. Hane
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