Effective SAW excitation on non-piezoelectric substrate using AlScN piezoelectric thin film BAW/SAW hybrid transducer

Vladimir Pashchenko, Fazel Parsapour, Sylvain Ballandras, Ken Haffner, Paul Muralt

    Publikation: Konferenzband/Beitrag in Buch/Bericht › Konferenzartikel › Begutachtung

    Fingerprint

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    Physik & Astronomy