Originalsprache | undefiniert/unbekannt |
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Fachzeitschrift | Journal of Vacuum Science and Technology B: Nanotechnology and Microelectronics |
DOIs | |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2015 |
Design, fabrication, and optical characteristics of freestanding GaN waveguides on silicon substrate
T. Sekiya, T. Sasaki, K. Hane
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